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氣體流量控制器（Mass Flow Controller, ）是一種能夠精確測(cè)量并控制氣體質(zhì)量流量的裝置。與傳統(tǒng)的體積流量控制器相比，MFC不受氣體溫度、壓力變化的影響，能夠直接反映氣體的真實(shí)質(zhì)量流量，因此在需要高精度氣體流量控制的場(chǎng)合中備受青睞。氣體質(zhì)量控制器憑借其高精度、高穩(wěn)定性、易操作等優(yōu)點(diǎn)，在分析市場(chǎng)，半導(dǎo)體，化工，電力，冶金，食品等多個(gè)行業(yè)中發(fā)揮著不可替代的作用。

氣體質(zhì)量流量控制器工作原理是基于質(zhì)量守恒定律和伯努利原理。當(dāng)氣體經(jīng)過流量控制器時(shí)，它會(huì)通過一系列精確的流量計(jì)算器來測(cè)量氣體的流量。這些計(jì)算器可以使用不同的技術(shù)進(jìn)行測(cè)量，如熱式、質(zhì)量流量計(jì)或壓差式。在測(cè)量完氣體流量后，流量控制器會(huì)根據(jù)要求的流量和實(shí)際流量之間的差異來調(diào)整閥門或其他控制裝置的動(dòng)作。這種調(diào)整可以通過反饋控制回路來實(shí)現(xiàn)，以確保實(shí)際流量與所需流量之間的誤差最小化。