微小氣體流量質(zhì)量控制器（MFC）與氣體質(zhì)量流量計（MFM），MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置，而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置，無錫愛拓利電子科技有限公司作為氣體質(zhì)量流量控制器廠家，生產(chǎn)和出口流量控制器,熱式流量計,氣體流量計,質(zhì)量流量計,質(zhì)量氣體流量計,氧氣流量計。

產(chǎn)品型號：MFC330

更新時間：2025-10-31

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計

氣密性測漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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氣體質(zhì)量流量控制器的選擇與使用注意要點

氣體流量計的測量范圍

產(chǎn)品介紹

主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE
介質(zhì)要求 Applicable media	潔凈干燥氣體 Clean, dry gases
氣體種類 Gas type	98+氣體可選 Available for 98+ types of gas
量程 Full Scale（N₂equivalent）	0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm
測量范圍measurement range	0.5%F.S. (1:200)
控制范圍 Control range	1% - 10 0% F.S. (1:100)
準(zhǔn)確度 Accuracy	標(biāo)準(zhǔn) Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5%
重復(fù)精度Repeatability	±0.2% F.S.
線性度Linearity	±0.2% F.S.
控制響應(yīng)時間 Settling time (in control)	<3秒
預(yù)熱時間 Warm-up time	5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy
閥門Valve function	常閉式 Normally Closed
泄露率 Leak integrity	1*10^-8 Pa·m³/sec He

機械特性 MECHANICAL
工作壓力 Maximum pressure	3 MPa (30bar）
工作壓差范圍 Operating differential pressure	0 ~ 1 MPa
工作溫度范圍Operating temperature range	-20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas)
濕度范圍 Relative humidity range	0 ~ 98% 無凝露 No-condensing
氣路接頭類型Process connections	卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)
氣體接觸材質(zhì)Material	氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel)
密封材質(zhì)Seals	氟橡膠 FKM
防護(hù)等級 Ingress protection (housing)	IP40
安裝方式 Mounting	水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation
固定孔 Mounting holes	M4 5mm
重量 Weight	0.96 kg

電氣和通訊 COMMUNICATIONS
電氣連接接口類型Electrical connection	DB – 9公頭 (Male)
模擬信號 Analog input and output options	0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制）
輸入輸出阻抗 Impedance resistance	輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ
模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate	200Hz
數(shù)字信號 Digital input and output options	Modbu RTU (RS232, RS485), CAN
通信速率 Digital data update rate	9600(默認(rèn)), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps（用戶可修改）
電源 Power requirements	15 – 40 VDC,<200mA
顯示更新頻率Display update rate	50Hz
模擬信號精度 Analog signal accuracy	±0.05%F.S.

特征 FRATURE
標(biāo)況 STP reference conditions	20℃， 1 atm
氣體選擇Gas Select	可選，具體參考說明書氣體系數(shù)
軟件Software	Aitoly分階流量軟件

尺寸 DIMENSIONS									Weight
Full scale flow	Height	Width	Depth	A	B	C	D	E	重量
2 sccm~30 slpm	125.00 mm	76.00 mm	32.00 mm	64.00 mm	17.80 mm	7.00 mm	6.00 mm	M4 5mm	≈0.96 kg
2 sccm~30 slpm	4.921 in	2.992 in	1.260 in	2.520 in	0.701 in	0.276 in	0.236 in	M4 0.197 in	≈2.1 lb
100slpm-500slpm	138mm	82mm	38mm	62.mm	30mm	4mm	10mm	M4 8mm	1.3kg
100slpm-500slpm	5.43in	3.22	1.496	2.220	1.181	0.157	0.393	M4 0.31in	2.88lb

·微小氣體流量質(zhì)量控制器MFC330系列使用毛細(xì)管柱傳感器，其傳感器、比例閥等核心器件均為自主研發(fā)，具有穩(wěn)定性高、抗腐

蝕、高精度、高重復(fù)性等特點。

·MFC300微小氣體流量質(zhì)量控制器系列使用MEMS傳感器原理，該系列產(chǎn)品具有響應(yīng)速度快、無需預(yù)熱、精確度高等特點;·另有皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置，應(yīng)用及第三方檢定單位。

·Aitoly 氣體質(zhì)量流量計廣泛應(yīng)用于科研院所、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、分析儀器、生物工藝和生物反應(yīng)、環(huán)境保護(hù)、石化、食品、工業(yè)自動化及等等。

愛拓利具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件研發(fā)水平，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的氣體質(zhì)量流量計及控制器核心部件（高精度氣體質(zhì)量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產(chǎn)設(shè)備，是國內(nèi)少數(shù)能夠全面自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)之一?！耙躁P(guān)鍵技術(shù)自主研發(fā)為核心使命、以市場為導(dǎo)向"，愛拓利致力于為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品、定制化服務(wù)和解決方案。

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