愛拓利具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件研發(fā)水平， 擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器核心部件（高精度氣體質(zhì)量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產(chǎn)設(shè)備，是國內(nèi)少數(shù)能夠全面自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)之一。“以關(guān)鍵技術(shù)自主研發(fā)為核心使命、以市場為導(dǎo)向"，愛拓利致力于為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品、定制化服務(wù)和解決方案。

MFM330 熱式氣體流量計(jì)傳感器基于毛細(xì)管柱熱式傳感器，毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。

需要預(yù)熱： 5min 內(nèi)達(dá)到 95% 流量精度，最長預(yù)熱30min

		產(chǎn)品特性：
		◆無可移動部件
		◆支持多種通訊協(xié)議
		◆容易安裝及維護(hù)
		◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂
		◆可測多種氣體
		◆一體液晶顯示和按鍵操作
		◆內(nèi)置溫度和壓力傳感器
		◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量
		應(yīng)用領(lǐng)域：
技術(shù)參數(shù)：		——分析儀器	——干刻（RIE/DRIE）
流量規(guī)格：	0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM	——生物技術(shù)	——?dú)庀嗌V分析
		——激光焊機(jī)	——過程自動化
準(zhǔn)確度：	±0.5%F.S.	——真空鍍膜	——燃料電池
重復(fù)精度：	±0.2%F.S.	產(chǎn)品尺寸：
流量測量范圍：	0.5%~100%F.S.
使用溫度：	-20~65℃
使用濕度：	0~98%（?凝露）
Max耐壓：	3MPa
響應(yīng)時間：	<1s
供電電壓：	15~40VDC
功率：	<1.2W
通訊方式：	RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
氣路部件材質(zhì)：	SUS304、SUS316L
密封件材質(zhì)：	氟橡膠
氣路接頭：	快擰、快插、卡套、VCR
外接顯示器尺寸：
電氣連接：DB9
產(chǎn)品造型：